硫氧化物(主要是SO2)之形成是由燃料中硫份氧化的結果，其主要來源是鍋爐燃燒過程。
燃料中的煤和殘餘油均含有很高的硫份(1～2％)。在煤中，主要的無機硫是黃鐵礦(FeS2)；有機硫的形式則包括噻吩(thiophene)，硫化物、硫赶(thiol)。當燃燒為貧燃料之情況時，大部份的硫被氧化為SO2；但在富燃料的情況，硫化物(H2S和COS)會殘存下來，產生臭味。一部份的SO2可能斷續被氧化為SO3。
SO3是鍋爐操作員相當關切的產物，因為它可能會和水反應產生硫酸而造成腐蝕問題，其反應式如下：
SO3+H2O→H2SO4 (1)硫酸在大氣溫度下，很快被凝結形成硫酸霧；此種現象很容易從煙囪出口處的藍煙判別出。一般而言，SO2氧化成SO3的發生可能出現在燃燒溫度低於900°K的情況下；而且反應速率相當慢。因此，在鍋爐燃燒過程中所排出之SOx，SO2佔了90％以上，其餘的部份才是SO3，H2S…等。
